mems傳感器應(yīng)用領(lǐng)域
MEMS傳感器mems傳感器種類的種類繁多mems傳感器種類,Gsensor是MEMS傳感器的一種GsensorGravity sensormems傳感器種類,重力傳感器,又名加速度傳感器accelerometer,是能感知加速度大小的MEMS傳感器如圖中的模型, 一個質(zhì)量塊兩端通過彈簧進行固定在沒有加速度的情況下,彈簧不會發(fā)生形變,質(zhì)量塊靜止當產(chǎn)生加速度時,彈簧發(fā)生形變,質(zhì)。
MEMS器件的種類 一電容器 微機電系統(tǒng)中的電容器是常見的器件之一由于其微小的尺寸和復(fù)雜的結(jié)構(gòu),MEMSCAP電容在諸多領(lǐng)域中都有著廣泛的應(yīng)用它們常被用于濾波器諧振器以及其它高頻功能部件二傳感器 在MEMS器件中,傳感器占據(jù)著重要的地位包括壓力傳感器加速度傳感器陀螺儀等這些傳感器在智能。
光電光敏傳感器這類傳感器利用光的性質(zhì)來檢測和轉(zhuǎn)換信息,如光強度顏色等電磁磁敏傳感器通過電磁場的變化來感知環(huán)境,如磁力計和磁敏電阻霍爾電流壓傳感器檢測磁場或電流,常用于電流磁場測量超聲波聲敏傳感器利用聲波進行距離測量或聲音分析光纖激光傳感器利用光傳輸進行精確。
傳感器種類電阻式傳感器變頻功率傳感器稱重傳感器電阻應(yīng)變式傳感器熱電阻傳感器1電阻式傳感器 電阻式傳感器是將被測量,如位移形變力加速度濕度溫度等這些物理量轉(zhuǎn)換式成電阻值這樣的一種器件主要有電阻應(yīng)變式壓阻式熱電阻熱敏氣敏濕敏等電阻式傳感器件2變頻功率。
生活中的傳感器種類繁多,下面列舉幾種常見的類型1 光傳感器 光傳感器利用半導體的光導效應(yīng)或光生伏特效應(yīng)光生伏特效應(yīng)是指光照射到半導體PN結(jié)上,產(chǎn)生的電壓或電流作為輸出信號進行檢測常見的應(yīng)用有光敏二極管光敏三極管等這些效應(yīng)都基于光的量子性質(zhì)例如,光控燈就是利用光傳感器的原理2。
傳感器的常見分類 1電阻式 電阻式傳感器是將被測量,如位移形變力加速度濕度溫度等這些物理量轉(zhuǎn)換式成電阻值這樣的一種器件主要有電阻應(yīng)變式壓阻式熱電阻熱敏氣敏濕敏等電阻式傳感器件2稱重 稱重傳感器是一種能夠?qū)⒅亓D(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘柕牧﹄娹D(zhuǎn)換裝置,是電子衡器的一個關(guān)鍵。
4 磁傳感器霍爾效應(yīng)和磁阻效應(yīng)是常見的磁感應(yīng)技術(shù),電動車的調(diào)速系統(tǒng)就利用mems傳感器種類了這一原理5 氣體傳感器如SnO2氣敏傳感器,通過吸附氣體分子改變電阻,廣泛用于煙霧報警系統(tǒng)除mems傳感器種類了上述五類,傳感器技術(shù)還包括微型化數(shù)字化智能化的新型傳感器,如MEMS技術(shù)的硅壓力傳感器,以及生物傳感器,如微生物免疫。